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螺桿泵是利用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動(dòng)，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個(gè)空間、形成多個(gè)級(jí)，氣體在相等的各個(gè)槽內(nèi)（柱形等螺距）進(jìn)行傳輸運(yùn)動(dòng)，但無(wú)壓縮，只有螺桿末端的螺旋結(jié)構(gòu)對(duì)氣體有壓縮作用。螺桿的各級(jí)間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對(duì)泵的性能有很大影響。在設(shè)計(jì)螺桿各部的間隙時(shí)，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境（如抽除含粉塵氣體等）。ulvac真空泵維修
真空常見(jiàn)故障、產(chǎn)生原因
1 .油量不足.油臟或乳化.泵油牌號(hào)不符或混油，夏季使用黏度過(guò)小的油 .漏氣.配合間隙過(guò)大( 或有磨損和劃痕) .油路不通,泵腔內(nèi)沒(méi)有保持適當(dāng)?shù)挠土?
2.泵運(yùn)轉(zhuǎn)中溫升太高,使泵油濃度變稀，密封性變差，油蒸氣壓增大 .泵中隔板壓入時(shí)過(guò)盈量過(guò)大,使泵腔鼓起變形，漏氣.排氣閥片損壞密封不好 .裝配不當(dāng),端蓋板螺釘松緊不一,轉(zhuǎn)子軸心位移 .旋片活動(dòng)不好 .被抽氣體溫度過(guò)高。ulvac真空泵維修
3 .進(jìn)氣管內(nèi)的過(guò)濾網(wǎng)被堵 .氣鎮(zhèn)閥墊圈損壞或沒(méi)擰緊 加油到油標(biāo)中心換油檢查軸封、排氣閥、端蓋、進(jìn)氣口等部位的密封情況，并修換密封圈檢查泵腔、轉(zhuǎn)子、旋片、端蓋板之間的配合間隙，清除雜物、雜質(zhì)，按精度要求修磨調(diào)節(jié)油路的進(jìn)油量, 清洗時(shí)用高壓空氣吹通油孔,把沉積物清洗干凈通冷卻水降溫, 檢查配合間隙按精度要求進(jìn)行修理修整泵腔或換泵、報(bào)廢修換閥片重新裝配修磨轉(zhuǎn)子和旋片的配合,調(diào)換彈簧熱氣體被抽入泵之前加冷卻裝置取出進(jìn)氣口過(guò)濾網(wǎng)清洗干凈烘干后再裝好換墊圈,擰緊氣鎮(zhèn)閥電動(dòng)機(jī)超負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn),甚至轉(zhuǎn)不動(dòng), 發(fā)生“ 卡死”現(xiàn)象 。
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旋片式真空泵能夠抽除密封容器中的枯燥氣體，若附有氣鎮(zhèn)設(shè)備，還能夠抽除一定量的可凝性氣體。但它不適于抽除含氧過(guò)高的，對(duì)金屬有腐蝕性的、對(duì)泵油會(huì)起化學(xué)反應(yīng)以及富含顆粒塵土的氣體。
筒式牽引級(jí)是在圓筒形的轉(zhuǎn)子或定子的圓柱面上開一定斷面形狀的溝槽，如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋槽。由于簡(jiǎn)式牽引泵型線溝槽開在轉(zhuǎn)子圓柱外表面或泵體內(nèi)表面上，因此可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對(duì)氣體分子進(jìn)行動(dòng)量傳遞，提高泵的抽氣效果。在設(shè)計(jì)制造中，可以通過(guò)改變螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角 ( 螺旋升角 ) 來(lái)達(dá)到較理想的抽氣效果。
隨著復(fù)合分子泵的不斷改進(jìn)，其應(yīng)用領(lǐng)域越來(lái)越廣，在某些抽氣系統(tǒng)上可以替代擴(kuò)散泵，縮短了系統(tǒng)的抽氣時(shí)間，并可獲得無(wú)油污染的清潔真空環(huán)境。
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多級(jí)離心泵和單級(jí)離心泵的區(qū)別，重點(diǎn)在于葉輪的數(shù)量上。多級(jí)離心泵的特點(diǎn)是壓力大，流量小。單級(jí)離心泵是只有一級(jí)葉輪，特點(diǎn)是壓力低流量大。
循環(huán)冷卻水的硬度
循環(huán)水在真空泵中的運(yùn)行過(guò)程，與低壓熱水鍋爐中鍋水運(yùn)行過(guò)程很相似。酸、堿浸蝕處理：去油后進(jìn)行浸蝕處理，目的是去除金屬表面的氧化物，經(jīng)過(guò)熱處理的零件，油污已不存在，可直接進(jìn)行浸蝕處理，以去除退火后的氧化層。因此，按照熱水鍋爐水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)來(lái)管理真空泵水質(zhì)，既可防止真空泵結(jié)垢又可防止水環(huán)真空泵腐蝕。循環(huán)水系統(tǒng)大都是敞開式循環(huán)系統(tǒng)，回水率比較高。在因資金等原因不采用離子交換設(shè)備進(jìn)行水處理的情況下，一般利用一個(gè)軟化水池加一個(gè)高位水池對(duì)真空泵進(jìn)行供水。
總裝配: 零部件和各真空室分別裝好后, 要試使其轉(zhuǎn)動(dòng)一下, 要保證其無(wú)阻滯絞絆現(xiàn)象。待Z上面的前端蓋裝好后, 即可從上向下穿入拉緊螺栓, 拉緊后即可將機(jī)座放平。調(diào)整各真空室的進(jìn)氣管, 使其在同一平面上, 然后把拉緊螺栓擰緊, 并試轉(zhuǎn)動(dòng)連接桿, 其轉(zhuǎn)力矩應(yīng)小于100 公斤?公分, 且無(wú)嚴(yán)重的局部阻滯感。*后裝好排氣閥門、單向閥等。這時(shí)可轉(zhuǎn)動(dòng)鏈輪。這樣各機(jī)座就已裝配完畢。Z后按前述拆泵時(shí)相反次序裝配箱體部分。注意保證密封處不準(zhǔn)漏氣, 油密封室亦不準(zhǔn)漏油。在箱蓋未裝之前, 裝入真空泵油至視窗中心。然后試抽測(cè), 觀察有無(wú)異常情況。
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